фотогалереи: осаждение материалов из газовой фазы

Осаждение материалов из газовой фазы является одним из основных направлений исследований, проводимых нашим институтом. Мы используем несколько классов веществ - от летучих органических соединений до металлоорганики. Ниже приведены результаты исследований по формированию различных обьектов.

Элемент наноконструкции, осажденный из металлоорганических соединений в газовой фазе в специальном нанореакторе.
Диаметр - 25 мкм, длина - 1 мм.
Основание - вольфрамовая проволока диаметром 0.2 мм.

Осажденный из газовой фазы столбик. Среда - газообразная металлоорганика. Специальный нанореактор.
Диаметр - 40 мкм, длина - 320 мкм.
Основание - медная пластинка.

Осажденный из газовой фазы нанообъект. Подложка - платиновая фольга. Среда - газообразная металлоорганика. Специальный нанореактор.
Размер кадра - 1000х1000 мкм.
Размер сформированного элемента - 70х200 мкм.

Сформированный из газовой среды углеродный зонд с тензорезистивными свойствами.
Применение - атомно-силовая микроскопия.