Широкодиапазонный пьезоманипулятор с увеличенной жесткостью фиксации и точностью позиционирования

Пьезоманипулятор разработан на основе существенно нового типа шагового манипулятора и комбинации линейных манипуляторов.

Основные характеристики::

• Диапазон пошагового перемещения объекта неограничен

• Размер шага регулируется в диапазоне 0.1-15 мкм

• Развиваемое усилие более 10 H

• Диапазон линейного перемещения в направлении по оси Z 0-15 мкм и Y 0-15 мкм

• Точность линейного перемещения определеляется уровнем шумов электронной системой управления и составляет менее 0.1 нм

• Отсутствие трения деталей обеспечивает увеличенный срок службы манипулятора - более 10 000 часов

Основные области применения:

• Сканирующие зондовые микроскопы и нанотехнологические системы (в устройствах подвода зонда и расположении над образцом)

• Конструкции станков (токарный, фрезерный и шлифовальный станки)

• Медицина (микротом, приборы для микрохирургических операций)